SELEKTYVUS LAZERINIS DIELEKTRIKŲ DENGIMAS SKIRTAS ELEKTRONINIŲ GRANDINIŲ GAMYBAI
INOVACIJOS APRAŠYMAS IR PRIVALUMAI
Elektros grandinės pėdsakų susidarymas 3D formos dielektrikuose yra vienas didžiausių iššūkių 3D mechatroniniuose integruotuose įrenginiuose (3D-MID). Pažangi lazeriu sukelto selektyvaus paviršiaus aktyvinimo technologija (SSAIL) gali išspręsti atsiradusias gamybos problemas. Procesas gali būti taikomas beveik bet kuriai komercinei dielektrinei medžiagai, pritaikant lazerinius ir cheminius parametrus.
Galima gaminti siauras varines linijas, kurių plotis mažesnis nei vienas mikrometras. Ši technologija gali pagaminti metalinį tinklelį, kurio skersmuo mažesnis nei 5 μm, kad jis būtų nematomas, bet vis tiek laidus elektrai. Todėl toks metalinis tinklelis gali pakeisti indžio alavo oksidą (ITO) skaidrioje laidžių plėvelių rinkoje.
DABARTINIS VYSTYMO ETAPAS
Paruošta integracijai į gamybos linijas.
TEISINĖ INTELEKTINĖS NUOSAVYBĖS BŪSENA
Patentuota (WO 2018051210; JP 6749482; LT 6518; US 10982328; EP 3512980; CN 109844178; KR 102319221)
IEŠKOMI PARTNERIAI
Pramoninės elektronikos gamintojai.
Vertės pasiūlymas
SSAIL technologija transformuoja 3D-MID gamybą, leisdama efektyviai formuoti elektros grandines 3D dielektrikuose ir pagaminti beveik nematomą, elektrai laidų metalinį tinklelį.